目前煙氣脫硝技術可分為干法和濕法兩大類，其中干法脫硝中的選擇性催化還原（SCR）和選擇性非催化還原（SNCR）技術是市場應用最廣（約占60%煙氣脫硝市場）、技術最成熟的脫硝技術，其原理是向煙氣中噴氨或尿素等含有NH3自由基的還原劑，在高溫下直接（或催化劑的協同下）與煙氣中的NOx發生氧化還原反應，把NOx還原成氮氣和水。但該技術也有其巨大的局限性，由于化學反應需要在高溫下進行，而對于中小型鍋爐以及工業鍋爐來說，排煙溫度遠不能達到化學反應所需要的高溫，因此低溫煙氣脫硝技術就成為市場的必須。低溫煙氣脫硝技術以低溫氧化技術（LoTOx）最為簡單有效，由于煙氣中的氮氧化物主要組成是NO（占95%），NO難溶于水，而高價態的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，很容易通過堿液噴淋等手段將其從煙氣中脫出。將煙氣中的NO轉化為高價態，需引入較強的氧化劑，在眾多氧化劑中，臭氧是最環保清潔的強氧化劑，在高效轉化NO至高價態的過程中不遺留任何二次污染物，另外不同于·OH、·HO2 等，工作環境惡劣，自由基存活時間非常短，能耗較高，O3的生存周期相對較長，將少量氧氣或空氣電離后產生O3，然后送入煙氣中，可顯著降低能耗。
低溫臭氧脫硝特點

1、節能，煙氣溫度200℃以下就可以實現脫硝。

2、安全，不使用氨氣，不發生氨逃逸及儲存。

3、脫硝效率高，可達90%以上。

4、臭氧為氣體，不使用催化劑，不增加風阻。

5、適用于石油煉化、生物質電廠、工業窯爐、垃圾焚燒、熱電廠、火電廠、焦化廠等不同工況。