硅晶圓片涂膠后堅膜無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱 百級無塵烘箱

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發(fā)機構。

一．無塵烘箱特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產

生PARTICLE；

4. 采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設計)

方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)

二．無塵烘箱產品技術參數(shù)

 1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-2D-PC

 2.主要技術指標：

 2.1無塵等級：Class 100;

2.2溫度范圍： +60～ 200℃,

2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）

2.4溫度精確度：±1℃（空載）

2.5設備型號：

 3、溫控系統(tǒng)

3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  7〃TFT真彩觸摸薄屏 

              程式編輯：可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段

              歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)

  3.2訊號來源：采日制進口CA感應棒±0.5%。

  3.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的安全保護措施：漏電保護//過熱保護  報警//電機保護  報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異

常顯示(紅色警示燈)

公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司