降溫可控無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)百級無塵烘箱 PLC自動化無塵烘箱

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發(fā)機構。

一、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱人性化箱體結構

1)上下雙腔結構,節(jié)省占地面積.

2)SUS304#鏡面不銹鋼內膽,SUS304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎.

3)耐高溫風機和合理風道構成熱風循環(huán)系統(tǒng),保證室內溫度均勻性.

4)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，

過濾效率99.99%，Class 100

二、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱自動化控溫系統(tǒng)

1）采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  10〃TFT真彩觸摸薄屏 

   程式編輯：可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段

   歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)

   可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求

2）電氣線路設計新穎，合理布線，安全可靠

3）箱體側部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。

三、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱安全完善的保護措施

1）超溫報警

2）欠相缺相保護

3）過電流保護

4）快速熔斷器

5）接地保護等系統(tǒng)。該功能充分保護實驗人員的安全。

公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司