低溫等離子廢氣凈化器是一種新型、的干法處理有機廢氣、臭氣的凈化設備，它改變了使用活性炭填料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，及維護保養方便，是近年來治理有機廢氣、臭氣技術中先進的一項技術。

低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成。

氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—深度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。

低溫等離子凈化器內部裝有**的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。