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小型磁控濺射儀

產品價格39800.00元/臺

產品品牌鄭科探

最小起訂≥1 臺

供貨總量66 臺

發貨期限自買家付款之日起 10 天內發貨

瀏覽次數16

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更新日期2025-03-04 09:20

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聯系固話:0371--60308298

聯系地址:河南省大學科技園東區6幢

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商品信息

基本參數

品牌:

鄭科探

所在地:

河南 鄭州市

起訂:

≥1 臺

供貨總量:

66 臺

有效期至:

長期有效

直流濺射電源:

皮拉尼真空計
詳細說明

KTZ1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度可調節及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

技術參數

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

 

 

 

 

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