一：產(chǎn)品參數(shù)

1． 產(chǎn)品名稱(chēng)：微型真空探針熱臺(tái)

2． 產(chǎn)品型號(hào)：KT-0904T-RL

3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探  Zhengketan

4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

二：功能要求

  探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
   該探針臺(tái)的承載臺(tái)為26X26mm不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到-190~400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm,y方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)

三：主要技術(shù)要求

1． 類(lèi)型：高低溫型：-190~400℃  

2． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼

3． 腔體內(nèi)尺寸：φ90x40mm

4． 腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

5． 腔體抽氣口：KF16

6． 腔體進(jìn)氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7． 腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8． 腔體正壓：≤0.05MPa

9． 腔體真空度：機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

10． 樣品臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼

11． 樣品臺(tái)尺寸：26X26mm

12． 樣品臺(tái)-視窗 距離：30mm（可選凹視窗間距15mm）

13． 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器：A級(jí)PT100鉑電阻

14． 樣品臺(tái)溫度：室溫到-190~400℃

15． 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差：±0.2℃

16． 樣品臺(tái)變溫速率：高溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

17． 溫度顯示：7寸人機(jī)界面

18． 溫控類(lèi)型：標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）

19． 溫度分辨率：0.1℃

20． 溫控精度：±0.5℃

21． 溫度信號(hào)輸入類(lèi)型：PT100熱電阻 （可選 K  S  B型熱電偶）

22． 溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）

23． 輔助功能：溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出  實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線

24． 電信號(hào)接頭：配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭  香蕉插頭  線長(zhǎng)1.2米

25． 電學(xué)性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤200V  電流噪聲 ≤10pA

26． 探針數(shù)量：4探針（可定做6探針）

27． 探針材質(zhì)：鍍金鎢針

28． 探針尖：10μm

29． X軸移動(dòng)行程：12mm    ±6mm

30． X軸控制精度：≤5μm

31． Y軸移動(dòng)行程：12mm    ±6mm

32． Y軸控制精度：≤5μm

33． Z軸移動(dòng)行程：12mm    ±6mm

34． Z軸控制精度：≤5μm

35． 顯微鏡類(lèi)別：物鏡放大+電子放大

36． 顯微鏡放大倍數(shù)：100倍

37． 顯微鏡工作間距：50-150mm

38． 相機(jī)分辨率：1080P  60幀

39． 相機(jī)信號(hào)輸出：HDMI輸出+USB輸出

40． LED可調(diào)光源：LED光源

41． 顯示屏：5寸 屏幕一體機(jī)

四：主要配置要求

1．1臺(tái) · KT-0904T-RL微型探針臺(tái)一臺(tái)

2．1臺(tái) · 觸摸屏溫控箱

3.  1個(gè)· 6mm聚四氟管

4.  1根  電源線

5:  2個(gè)  6mm金屬內(nèi)襯

6： 1根  觸摸屏筆

7： 4個(gè)  SMA-香蕉插頭

8： 1根  功率輸出線

9:   6米  6mm水冷管

10： 1套  K型上蓋扳手、備用螺絲，內(nèi)六角

選配: 分子泵真空機(jī)組  機(jī)械泵  電子顯微鏡