澤攸探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。

產(chǎn)品優(yōu)勢：
1、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定：澤攸探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動。
2、使用場景多樣化：澤攸探針臺結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，運動行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室，光學(xué)試驗臺等工作條件。
3、完善的技術(shù)解決方案：澤攸探針臺與尼康金相顯微鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng)，為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。
4、直觀、方便：澤攸探針臺通過手柄控制，具有多級宏觀調(diào)速，脈沖運動，以及位移微調(diào)功能，宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s，單點脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下，微調(diào)運動分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，準(zhǔn)確。

澤攸探針臺參數(shù)：
1、探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅(qū)動（X、Y、Z三自由度）;
2、運動：壓電驅(qū)動；
3、步進(jìn)速度：2 mm/s（X，Y，Z）；
4、運動范圍：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；
5、運動分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；
6、探針規(guī)格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

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