北京凱瑞永半導(dǎo)體專用顯微鏡
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測(cè)期間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。AxioImagerVario支持的較大樣品高度為254mm，較大橫向樣品空間為300mm，大大拓展了可以測(cè)試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性。可滿足在潔凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置。
潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測(cè)需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DINENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí)。AxioImagerVario已通過(guò)此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。ISO5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FEDSTD209E（1992）的100級(jí)。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。
半導(dǎo)體專用顯微鏡優(yōu)勢(shì)
具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的較大橫向樣品空間300mmx300mm和較大樣品高度254mm的優(yōu)勢(shì)。
AxioImagerVario能通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動(dòng)對(duì)焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
將AxioImagerVario與LSM900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品
AxioImagerVario已通過(guò)DINENISO14644-1認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。
半導(dǎo)體專用顯微鏡
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