無論是干式真空泵還是其他機器，都是需要定期進行清掃的，畢竟一件物品再好，用的時間一長也是需要打掃下的，使其干凈如初，也避免長期不打掃會因外在因素導致故障。而對于干式真空泵的吹掃方式有三種，采用氮氣、水蒸氣、空氣等多種介質，其中氮氣是吹掃作業中較為常用的一種，那為何對比其他介質，氮氣是更常用的呢？
1.氮氣是一種較為常見的惰性氣體，在沒有一定的溫度、壓力或者是催化劑等輔助條件下，很難與外界發生反應。因此在干式真空泵系統清洗過程中，利用氮氣吹掃，更為安全可靠。這一點上，也被廣泛用于化工企業的管道清潔過程。
2.氮氣的吸附熱小，吸附于物體表面的時間短。也就是說當氮氣吸附于干式真空系統泵的器壁表面時，將會很容易被抽走。真空系統清洗中的氮氣吹掃正式利用了它的這個特性。舉個例子，在真空鍍膜中，用干燥氮氣吹掃清洗過真空系統后，氮分子會首先吸附于真空系統的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾滿后，其他的分子如水分子等就會減少。因而真空系統的整個抽氣時間就會大大減少。
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