獵戶座3100S  
AMC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)  
一、AMC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)3100S產(chǎn)品介紹：  
1、實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響，對很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來較大的危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長時間持續(xù)實(shí)時監(jiān)測，而實(shí)際上空氣分子污染（AMC）的實(shí)時測量對產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要。  
2、獵戶座3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)連續(xù)分析儀器，將增加半導(dǎo)體器件阻抗一致性、保證更長的過濾器壽命、減少生產(chǎn)過程的停工時間。  
3、ETGHMI（人機(jī)交互界面）軟件可以實(shí)時觀察、實(shí)時測量、實(shí)時操作對不同空間不同位置的NH3、HCL、HF進(jìn)行分析，軟件專門針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)，對于深紫外光刻工藝過程中監(jiān)測與控制空氣分子污染（AMC）提供有力的支持，軟件集成了多點(diǎn)采樣（MS）控制功能，具有實(shí)時顯示數(shù)據(jù)曲線、報警、存儲、趨勢、歷史曲線、分析等功能。  
二、AMC在線監(jiān)測獵戶座3100S系統(tǒng)介紹：  
1、實(shí)時監(jiān)測空氣分子污染（AMC）對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程極為重要。  
2、快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。  
3、深紫外光刻工藝量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng)時，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。  
4、傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過程太復(fù)雜，昂貴并且測量結(jié)果不準(zhǔn)確。  
5、ETG采用被證明的CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)解決AMC（空氣分子污染物）監(jiān)測難題，可快速測量痕量級NH3、HCL、HF，采用脈沖熒光法測量SO2，采用增強(qiáng)型GC-FID測量VOCs。  
6、獵戶座3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)測量痕量級NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性，是半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室AMC（空氣分子污染）測量的有力工具。  
7、獵戶座3100S也集成了多點(diǎn)監(jiān)測系統(tǒng)，可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器，并讀出測量結(jié)果。獵戶座3100S內(nèi)嵌的報警、報告、分析軟件是由多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開發(fā)。  
8、獵戶座3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來自4~6臺分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。  
9、每臺分析儀配有內(nèi)置計算機(jī)（LinuxOS），可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)輸出，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，通過互聯(lián)網(wǎng)可以連接ETG公司總部或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商服務(wù)商，進(jìn)行操作或者診斷。  
10、使用者可以通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作，遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)多級管理權(quán)限控制和操作。
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