光學等離子體真空計

OPG550光學等離子體真空計

INFICON Augent?光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監測解決方案。體積小巧的Augent?集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監測時，壓力測量范圍為1 × 10^-7至5毫巴；總壓力測量范圍可達1 × 10^-7毫巴至大氣壓。Augent?自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器，當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。

在1 × 10^-7至5毫巴的測量范圍內，該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。

優勢

? 高速檢漏，可進行試驗箱泄漏檢查

? 提高生產率和產量

? 使用壽命長，燈絲不易燒毀，防空氣侵入

? 耐過程化學腐蝕

? 采用智能算法，易于集成

? 結構緊湊，空間占用小

? 啟動快速可靠

應用范圍

? 試驗箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗速度

? 進行泄漏檢查，以查找供氣管路的內部泄漏

? 實時端點控制

? 氣體類型和濃度控制