由于真空設備在制造和使用過程中存在各種污染，對其性能的影響很大。因此，真空裝置中污染的防治與清除非常重要。真空部件清洗方法如下：
一.溶劑去油
零件所粘附的油脂分為礦物油、動植物油兩大類，礦物油可用有機溶劑去除，動植物油可用堿溶液化學去除，但實際上兩類油脂經常同時存在，所以在清洗時往往需要先后采用數種不同的溶劑。
1堿液去油
當零件浸入堿液時，由于堿液與油脂的化學作用可使動植物油轉化為脂肪酸鹽類（皂化作用），這些鹽類能溶解于水，從而能使零件除去油脂。金屬零件從去油溶液中取出后應立即在溫水中徹底清洗，然后再用冷水清洗。若金屬表面不水濕潤（有水滴）即表示油污尚未除盡，應再次進行處理。
2有機溶劑去油
有機溶劑能夠溶解礦物油和動植物油，通常可與堿液去油配合使用，常用有機溶劑有三氯乙烯（C2HCl3）、四氯乙烯（CCl4）、丙酮（C3H6O）、汽油、乙醚等。水是各種無機物和其他物質的良好溶劑，由于自來水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱后的自來水進行清洗，當要求較高時，可采用蒸餾水或去離子水，通常用流動的熱水清洗電鍍后和用酸、堿腐蝕后的零件。
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