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更新日期2020-09-09 23:02
品牌： |
Pfeiffer |
所在地： |
廣東 深圳市 |
起訂： |
未填 |
供貨總量： |
未填 |
有效期至： |
長期有效 |
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 擁有強大的抽空能力, 對氦氣抽速最高可達 25 l/s. 極短的測試時間, 較短的響應時間 < 1 s.
檢漏儀 ASM 390, ASM 392 最小檢漏漏率:
真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
檢漏儀 ASM 390, ASM 392 配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 其中檢漏儀 ASM 392 內置 2 臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產設備的停機時間.
檢漏儀 ASM 390, ASM 392 是針對大型檢漏部件設計研發.
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準
伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:
|
型號 |
ASM 390 |
ASM 392 |
ASM 380 |
|
檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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|
最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
||
|
對氦氣的抽速 |
10 l/s |
25 l/s, 內置2臺分子泵 |
7 l/s |
|
前級泵抽速 |
35 m3/h |
||
|
進氣口最大壓力 |
20 mbar |
20 mbar |
15 mbar |
|
無校準的啟動時間(20°C) |
2 min |
2 min |
< 4.5 min |
|
進氣口 |
DN 40 ISO-KF |
||
|
響應時間 |
< 1 s |
||
|
Interface, 選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
||
|
噪音 |
≤ 55 dB (A) |
≤ 55 dB (A) |
53 dB (A) |
|
重量 |
125 kg |
130 kg |
110 kg |
|
尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
1072 x 455 x 1025 mm |
1065 X 455 X 1025 mm |
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目前在售型號:
ASM 390, 通用電壓
ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板
ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板,以太網
ASM 390, 通用電壓,可配置的 I/O 接口板,以太網, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓
ASM 392, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應用領域:
可用于半導體和平板顯示器行業以及其他要求極高的應用
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