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更新日期2020-09-07 15:19
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所在地： |
廣東 深圳市 |
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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 系列屬于寬束型離子源, 散射角度>45°.
霍爾離子源氣體流量可選 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同級(jí)別.
霍爾離子源電流可選 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.
霍爾離子源高濃度提高鍍膜沉積速率, 低動(dòng)能減少離子轟擊損傷表面, 寬束設(shè)計(jì)有效提高吞吐量和覆蓋沉積區(qū).
整體易操作, 易維護(hù). 霍爾離子源 eH 提供一套完整的方案包含離子源, 電子中和器, 電源供應(yīng)器, 流量控制器 MFC 等等.
KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列產(chǎn)品特性:
1.無柵極
2.高電流低能量
3.發(fā)散光束 >45°
4.可快速更換陽極模塊
5.可選 Cathode / Neutralize 中和器
KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列在售型號(hào)及技術(shù)參數(shù):
|
離子源型號(hào)
|
霍爾離子源 eH200(停產(chǎn)) |
霍爾離子源
eH400 |
霍爾離子源
eH1000 |
霍爾離子源 eH1000xO2 |
霍爾離子源
eH2000 |
霍爾離子源
eH3000 |
|
Cathode/Neutralizer |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
HC |
|
電壓 |
30-300V |
50-300V |
50-300V |
100-300V |
50-300V |
50-250V |
|
電流 |
2A |
5A |
10A |
10A |
10A |
20A |
|
散射角度 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
| 可充其他 | Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others | |||||
|
氣體流量 |
1-15sccm |
2-25sccm |
2-50sccm |
2-50sccm |
2-75sccm |
5-100sccm |
|
高度 |
2.0“ |
3.0“ |
4.0“ |
4.0“ |
4.0“ |
6.0“ |
|
直徑 |
2.5“ |
3.7“ |
5.7“ |
5.7“ |
5.7“ |
9.7“ |
|
水冷 |
無 |
可選 |
可選 |
可選 |
是 |
可選 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列基本組成
1. 燈絲
2. 陽極模組
3. 主要模組
4. 底座（可調(diào)整角度, 高度）
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