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菲尼克斯傳感器半導(dǎo)體氣體傳感器的原理概述

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2021-08-13 14:32:55    瀏覽次數(shù):306    評(píng)論:0
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菲尼克斯傳感器http://www.amy07.com/半導(dǎo)體氣體傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化和還原反應(yīng)導(dǎo)致敏感元件阻值變化而制成的。


        菲尼克斯傳感器http://www.amy07.com/半導(dǎo)體氣體傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化和還原反應(yīng)導(dǎo)致敏感元件阻值變化而制成的。當(dāng)半導(dǎo)體器件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài),在氣體接觸半導(dǎo)體表面而被吸附時(shí),被吸附的分子首先在表面物性自由擴(kuò)散,失去運(yùn)動(dòng)能量,一部分分子被蒸發(fā)掉,另一部分殘留分子產(chǎn)生熱分解而固定在吸附處(化學(xué)吸附)。
 
         菲尼克斯傳感器半導(dǎo)體氣體傳感器運(yùn)用中,當(dāng)半導(dǎo)體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力(氣體的吸附和滲透特性)時(shí),吸附分子將從器件奪得電子而變成負(fù)離子吸附,半導(dǎo)體表面呈現(xiàn)電荷層。例如氧氣等具有負(fù)離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體或電子接收性氣體。如果半導(dǎo)體的功函數(shù)大于吸附分子的離解能,吸附分子將向器件釋放出電子,而形成正離子吸附。具有正離子吸附傾向的氣體有H2、CO、碳?xì)浠衔锖痛碱悾鼈儽环Q為還原型氣體或電子供給性氣體。027-87263542
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