伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

推薦理由:

使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380可以準(zhǔn)確、靈活地對樣品選定的區(qū)域進行刻蝕、減薄.

工藝簡介：

在碳化硅表面制備微納結(jié)構(gòu)圖形, 然后通過 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 對碳化硅微納結(jié)構(gòu)進行刻蝕, 以調(diào)控結(jié)構(gòu)的線寬和深度.

運行結(jié)果:

1. 結(jié)構(gòu)表面粗糙度由約 106nm 降低到 11.8nm

2. 碳化硅線條結(jié)構(gòu)周圍的毛刺基本消失, 線條結(jié)構(gòu)表面的粗糙度得到顯著改善, 降低結(jié)構(gòu)表面的粗糙度實現(xiàn)高平滑度微光學(xué)元件的制備

3. 通過 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 碳化硅菲涅爾波帶片展現(xiàn)出良好的聚焦和成像效果

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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