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伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
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射頻離子源型號(hào) |
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RFICP380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
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射頻 RFICP |
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離子束流 |
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>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
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100-1200 V |
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柵極直徑 |
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30 cm Φ |
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離子束 |
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聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
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15-50 sccm |
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通氣 |
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
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39 cm |
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直徑 |
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59 cm |
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中和器 |
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LFN 2000 |
工藝流程:
該正極片的制備在離子束濺射室內(nèi)進(jìn)行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.
在開始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空后, 然后利用KRI 射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來(lái), 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳復(fù)合材料的鋰硫電池正極片.
KRI 射頻離子源 RFICP380 特性:
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動(dòng)能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動(dòng)控制器, 一鍵自動(dòng)匹配
8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅(jiān)固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該制造商采用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術(shù)參數(shù)如下:
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2707-Operating voltage: V DC |
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48 (± 5 %) V DC |
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Ar 的壓縮比 |
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> 1 · 1011 |
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Ar 的抽速 |
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665 l/s |
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Ar 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 |
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3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
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H2 的壓縮比 |
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4 · 105 |
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H2 的抽速 |
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555 l/s |
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H2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 |
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> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s |
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He 的壓縮比 |
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3 · 107 |
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He 的抽速 |
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655 l/s |
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He 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 |
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10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s |
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I/O 接口 |
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RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus |
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N2 的壓縮比 |
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> 1 · 1011 |
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N2 的抽速 |
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685 l/s |
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N2 的最大預(yù)真空 |
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11 百帕 |
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N2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 |
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6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s |
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不帶氣鎮(zhèn)的最終壓力 |
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1 · 10-7 百帕 |
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允許冷卻水的溫度 |
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15 – 35 °C 攝氏度 |
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冷卻水消耗最小值 |
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100 l/h |
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冷卻水耗量 |
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100 l/h |
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冷卻類型, 可選項(xiàng) |
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空氣 |
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冷卻類型, 標(biāo)準(zhǔn) |
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水 |
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聲壓水平 |
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≤50 dB(A) 分貝 (A) |
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安裝方向 |
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任何 |
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排氣連接 |
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G 1/8" |
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接口, 擴(kuò)展 |
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Profibus |
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方位 |
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混合動(dòng)力 |
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最大允許磁場(chǎng) |
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6 mT |
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根據(jù) PNEUROP 的最終壓力 |
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< 1 · 10-7 百帕 |
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電子驅(qū)動(dòng)單元 |
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帶有 TC 400 |
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電流最大值 |
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8,75 A |
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耗電量 max. |
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420 瓦 |
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轉(zhuǎn)速 ?± 2 % |
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49,200 rpm | 49,200 min-1 |
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轉(zhuǎn)速可變化 |
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60 – 100 % |
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運(yùn)行時(shí)間 |
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2 分 |
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連接法蘭（入口） |
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DN 160 ISO-F |
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連接法蘭（出口） |
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DN 25 ISO-KF/G ?" |
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重量 |
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12.1 千克 |
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防護(hù)等級(jí) |
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IP54 |
運(yùn)行結(jié)果:
能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳復(fù)合材料.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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